色片在线观看_国产91看片_日韩欧美一级_99久久99久久久精品色圆_蜜桃成人在线观看_久久久一二三

凈化施工
當(dāng)前位置:首頁 > 行業(yè)百科 > 凈化施工

安徽集成電路制造無塵車間建設(shè)特點與技術(shù)規(guī)范

來源:www.hplian.cn 作者:空氣好凈化
發(fā)布時間:2025-03-27 08:42:01點擊:

 一、環(huán)境控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求

空氣潔凈度等級
核心光刻區(qū)需達(dá)到ISO 1級標(biāo)準(zhǔn)(每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個)
一般加工區(qū)維持ISO 3級標(biāo)準(zhǔn)(≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個/m³)
采用ULPA超高效過濾器(U15級,過濾效率≥99.9995%)
 
溫濕度精密控制
溫度控制精度±0.1℃(22±0.1℃恒溫系統(tǒng))
相對濕度控制±1%RH(45%±1%RH)
采用三級制冷系統(tǒng)(冷水機組+精密空調(diào)+FFU溫控模塊)
二、特殊建筑結(jié)構(gòu)要求
防微振設(shè)計
核心設(shè)備區(qū)振動控制VC-D級(1-80Hz頻段≤1.5μm/s)
采用彈簧隔振基礎(chǔ)+氣浮平臺雙重減振
建筑結(jié)構(gòu)振動傳遞損失≥30dB
 
電磁屏蔽系統(tǒng)
射頻屏蔽效能≥80dB(1MHz-10GHz)
接地系統(tǒng)阻抗≤0.5Ω
采用銅網(wǎng)屏蔽室+波導(dǎo)通風(fēng)窗設(shè)計
 
三、超純介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):電阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤1ppb
采用雙級RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝
管道系統(tǒng):316L EP級不銹鋼,電拋光處理(Ra≤0.25μm)
 
特種氣體系統(tǒng)
氣體純度:電子級(99.9999%以上)
輸配系統(tǒng):雙套管檢漏設(shè)計,VCR面密封連接
配置在線純度分析儀(ppb級檢測精度)
 
四、能耗與智能化管理
節(jié)能設(shè)計
熱回收系統(tǒng)(熱回收率≥70%)
變頻控制系統(tǒng)(風(fēng)機能耗降低40%)
采用LED潔凈照明(能耗較傳統(tǒng)燈具低60%)
 
智能監(jiān)控系統(tǒng)
實時監(jiān)測2000+個數(shù)據(jù)點(包括粒子計數(shù)、分子污染等)
大數(shù)據(jù)分析預(yù)測設(shè)備維護周期
數(shù)字孿生技術(shù)實現(xiàn)虛擬調(diào)試
五、特殊防護措施
防靜電系統(tǒng)
地面電阻1×10^6~1×10^9Ω
工作服表面電阻≤1×10^10Ω
離子風(fēng)機覆蓋率100%
 
化學(xué)污染控制
AMC(氣態(tài)分子污染)控制:酸、堿、碳?xì)浠衔锞?lt;1μg/m³
化學(xué)過濾器效率≥95%
廢氣處理系統(tǒng)去除率≥99%
 
集成電路制造無塵車間建設(shè)周期通常需18-24個月,單位面積造價達(dá)3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認(rèn)證,并建立嚴(yán)格的變更控制程序。隨著制程進入3nm以下節(jié)點,環(huán)境控制正向分子級潔凈度方向發(fā)展,這對車間建設(shè)提出了更高要求。
主站蜘蛛池模板: 精品无码久久久久久国产 | 99爱精品在线 | www久久综合 | 一级毛片免费在线 | 91网页视频入口在线观看 | 麻豆小视频在线观看 | 九九热视频免费观看 | 久久亚洲一区二区三区成人国产 | 在线成人一区 | 成人毛片网 | 神马久久蜜桃 | 欧美成人精品欧美一级 | 久久狠狠高潮亚洲精品 | av影院在线播放 | 法国性xxx精品hd | 在线观看国产免费视频 | 黄色影院一级片 | 中文字幕在线观看视频一区 | 日韩黄色av| 日本在线免费观看视频 | 日韩色视频在线观看 | 国产小视频在线观看 | 黄色av网站在线观看 | 亚洲精品aⅴ中文字幕乱码 欧美囗交 | 欧美.com| 精品国产91久久久久久久 | 成人永久免费视频 | 国产羞羞网站 | 一级黄色毛片免费 | av电影免费播放 | 免费日韩片 | 天堂福利电影 | 亚洲国产精品一区二区精品 | 欧美精品一级片 | 九九热精品在线 | 一级毛片免费观看 | 久久久久久久91 | 最新黄色电影网站 | 国产九九热 | 性爱免费视频 | 精品999久久久 |