廬江半導體無塵車間凈化工程空調施工要點主要包括以下幾方面：

1. 空調系統(tǒng)設計：

   - 空調系統(tǒng)需根據半導體生產工藝要求和車間潔凈度等級（如ISO Class 1-9級）設計，確保送風量充足，滿足相應的換氣次數。

   - 設計時要考慮溫度、濕度的精確控制，以適應半導體生產對環(huán)境條件的高精度需求。

2. 高效過濾裝置安裝：

   - 高效過濾器（HEPA/ULPA）的選擇和安裝至關重要，要確保過濾效率符合要求，并且在安裝過程中不能損壞過濾介質。

   - 過濾器安裝位置通常位于回風口或者送風口，確保整個空調循環(huán)系統(tǒng)的空氣質量達標。

3. 氣流組織設計：

   - 氣流組織應設計成單向流動或非單向流動但有足夠渦流控制，避免塵埃粒子在車間內回流和滯留。

   - 要求氣流均勻穩(wěn)定，避免出現死角和渦流，確保車間內各點的潔凈度一致。

4. 空調機組及管道施工：

   - 空調機組安裝牢固，減震良好，同時管道連接緊密，杜絕漏風現象，所有的接縫和焊點都要做嚴密性和氣密性測試。

   - 使用抗菌、防霉、耐腐蝕材料制作并安裝風管，防止二次污染。

5. 控制系統(tǒng)集成：

   - 空調系統(tǒng)的自動控制系統(tǒng)應能實現對溫濕度、壓力、風速等多種參數的精確監(jiān)控與調節(jié)，確保工藝環(huán)境的穩(wěn)定性。

6. 竣工驗收與調試：

   - 工程結束后，需要按照相關規(guī)定進行潔凈度檢測和空調性能測試，確保所有參數均達到設計標準和使用要求。同時，還要進行詳細的系統(tǒng)調試和試運行，確保整個空調凈化系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。

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